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采用真空反应蒸发技术，在有机薄膜基片上制备出高质量的ＩＴＯ透明导电薄膜，对薄膜的结构和光电特性进行了研究。......

期刊

ITO 薄膜透过率电阻率载流子浓度 ITOfilms transmission sheetresistance

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